SOLARISX采用的新一代Triglav™型SEM镜筒，配置了新开发的探测器系统，具有优异的表面灵敏度和衬度；另一方面，新的iFIB+™HB镜筒进一步的扩展了Xe等离子F旧应用领域，提升了大体积样品微加工和3D微量分析的能力，并且极大地缩短了加工时间，提高了工作效率。
iFIB+E值等离子源FIB镜筒
Xe等离子与Ga离子相比，有更大的质量和原子半径，澱射速度是传统Ga离子源的50倍以上，尤为适合长耗时和大体积的铢削任务。Xe等离子还具有注入效应小、不形成金属间化合物、不改变加工区域电学性质等优点。
TESCAN是个推出霞气等离子FIB-SEM澈的厂家，了^^品，TESCANSOLARISX具有业内超高的束流强度和-大的视野范围（FoV）
•SEM分辨率：0.6nm@15kV
•FIB分辨率：＜15nm@3QkV
•电子信号选择检测功能，帮助用户获得更好的表面灵敏度和衬度
•Xe等离子镜筒可提供高达2pA的超高离子束流，并保持束斑质量
•超高加工效率，在30kV下-大视场范围超过1mm
•自适应束斑优化功能，有利于更好的进行EDS、WDS和EBSD等分析
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